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半导体制程(支撑)材料

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六氟-1,3-丁二烯

更新时间:2021-12-16 点击数:130

六氟-1, 3-丁二烯是一种无色无味的液化可燃气体,在空气中燃烧极限为7%〜73%,它作为刻蚀气体用于半导体制程的等离子刻蚀,与传统使用的全氟饱和氟碳类蚀刻气体CF4、C2F6、C3F8、C-C4F8和NF3相比,六氟丁二烯具有更高的蚀刻选择性、精确性和纵横比。


技术指标:


产品用途:

在电子工业中用作刻蚀气体,还可用于生产含氟聚合物'火箭燃料用的键合剂、麻醉剂'制冷剂以及抗霜聚合物用的一种交联剂等。



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